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PVD晶圓自動倒片機(jī)上下料
  • 工藝應(yīng)用

    PVD晶圓倒片上下料


  • 機(jī)器人型號

    -GBT-P7A-700  (了解更多)

    -GBT-S3A-400-C  (了解更多)

    -GBT-S6A-600-C  (了解更多)

  • 系統(tǒng)組成

    -晶圓檢測Mapping系統(tǒng)

    -全自動上盤、盤尋邊系統(tǒng)

    -全自動上片、下片系統(tǒng)


  • 客戶所得經(jīng)濟(jì)效益

    -良品率≥99.5%

    -節(jié)拍達(dá)到:288pcs/h


  • 關(guān)鍵技術(shù)

    -機(jī)器人通過國家潔凈等級的認(rèn)證,可在無塵環(huán)境中使用

    -機(jī)器人配備高速I/O, 實現(xiàn)對圓晶Mapping檢測

    -高穩(wěn)定性保證取放晶圓和料盤無擦碰

  • 競爭優(yōu)勢

    -機(jī)器人重復(fù)定位精度高(重復(fù)定位精度:0.02mm),可確保晶圓上下片無碰傷 

    -高速搬運無抖動,可實現(xiàn)晶圓高速上下料 

    -柔性高、兼容性好、穩(wěn)定易操作

推薦機(jī)器人