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MOCVD晶圓倒片機(jī)上下料
  • 工藝應(yīng)用

    -MOCVD晶圓倒片上下料

  • 機(jī)器人型號(hào)

    -GBT-P7A-700  (了解更多)

  • 系統(tǒng)組成

    -兩臺(tái)四軸機(jī)器人和一臺(tái)六軸機(jī)器人銜接前道設(shè)備對(duì)加工完成的晶圓和未加工的晶圓進(jìn)行一個(gè)上下料的工藝。

  • 客戶所得經(jīng)濟(jì)效益

    -減少成本,提高產(chǎn)能和效率 

    -保證節(jié)約人力成本,生產(chǎn)穩(wěn)定性

  • 關(guān)鍵技術(shù)

    -機(jī)器人通過(guò)國(guó)家潔凈等級(jí)的認(rèn)證,可在無(wú)塵環(huán)境中使用。 

    -機(jī)器人配備高速I(mǎi)/O, 實(shí)現(xiàn)對(duì)圓晶Mapping檢測(cè) 

    -高穩(wěn)定性保證取放晶圓和料盤(pán)無(wú)擦碰

  • 競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)

    -晶圓定位精度:±0.05mm、±0.1° 

    -上下片節(jié)拍:425pcs/h 

    -機(jī)器人重復(fù)定位精度高(重復(fù)定位精度:0.02mm),可確保晶圓上下片無(wú)碰傷 

    -高速搬運(yùn)無(wú)抖動(dòng),可實(shí)現(xiàn)晶圓高速上下料 -良品率:≥99.9%

推薦機(jī)器人