-MOCVD晶圓倒片上下料
-GBT-P7A-700 (了解更多)
-兩臺(tái)四軸機(jī)器人和一臺(tái)六軸機(jī)器人銜接前道設(shè)備對(duì)加工完成的晶圓和未加工的晶圓進(jìn)行一個(gè)上下料的工藝。
-減少成本,提高產(chǎn)能和效率
-保證節(jié)約人力成本,生產(chǎn)穩(wěn)定性
-機(jī)器人通過(guò)國(guó)家潔凈等級(jí)的認(rèn)證,可在無(wú)塵環(huán)境中使用。
-機(jī)器人配備高速I(mǎi)/O, 實(shí)現(xiàn)對(duì)圓晶Mapping檢測(cè)
-高穩(wěn)定性保證取放晶圓和料盤(pán)無(wú)擦碰
-晶圓定位精度:±0.05mm、±0.1°
-上下片節(jié)拍:425pcs/h
-機(jī)器人重復(fù)定位精度高(重復(fù)定位精度:0.02mm),可確保晶圓上下片無(wú)碰傷
-高速搬運(yùn)無(wú)抖動(dòng),可實(shí)現(xiàn)晶圓高速上下料 -良品率:≥99.9%
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